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行業：半導體
應用：質量流量控制器差壓式校驗系統
產品：TERPS矽諧振壓力感測器

案例

DRUCK的一家位於日本的客戶是業界領先的質量流量控制器（MFC）生產廠商之一。MFC是用於對流體的質量流量進行精密測量和控制的儀器，廣泛應用於半導體生產工藝中的多個制程中，其出廠標準具有高等級品控標準和可溯源性的要求。因此，如下圖所示“校準溯源性金字塔”，該廠商希望建立一個符合工作標準(Working Standard)且具有可溯源性的MFC差壓式校驗系統，以保證其MFC產品大量生產時的出廠品質並為其後續使用時的現場維護和校準提供標準。

校準溯源性金字塔

為了實現其標準器的功能，該差壓式品質流量校驗系統對於所使用的壓力感測器提出了極高的精度、長期穩定性、量程範圍及可靠性要求。該廠商為該系統選擇了DRUCK的矽諧振壓力感測器TERPS。其原理如下圖所示，通過測量限流器兩端的入口壓力P1和出口壓力P2，採用如下公式可計算出品質流量Q，即得以實現對質量流量的定標。

                            
 
                                                             * 其中kT為限流器在溫度T下的常數

系統示意圖

其選定TERPS壓力感測器的考量因素包括：

1. TERPS 10倍于傳統矽壓阻感測器的精度(±0.01%FS全溫精度)及長期穩定性(±100ppm)，可保證定標的準確性並延長維護週期；
2. 解析度可達10ppm
3. 通過RS-232/RS-485串口或USB介面直接輸出的ASCII碼格式的壓力測量資料，可簡化系統設計(USB介面集成供電功能)；
4. 多種量程、壓力介面等可選；
5. 當地語系化的技術支援網路，可提供快速的本地維護及支援。                                                                     TERPS系列矽諧振壓力感測器

綜上所述，Druck TERPS系列壓力感測器為該廠商的MFC校驗提供了符合其工作標準且具備可追溯性的校驗系統。此外，我們也同時為基於壓力的質量流量控制器提供矽壓阻式壓力感測器及壓力模組。如果您有類似的需求或技術問題，歡迎與我們聯繫！